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瑞士VAT真空部件 334347產品身份確認原廠零件號:334347所屬系列:VAT真空閥門密封組件適用機型:VAT 59000系列高真空角閥VAT 47000系列閘板閥
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品牌 | 其他品牌 | 應用領域 | 化工,能源,汽車及零部件,電氣,綜合 |
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瑞士VAT真空部件 334347
原廠零件號:334347
所屬系列:VAT真空閥門密封組件
適用機型:
VAT 59000系列高真空角閥
VAT 47000系列閘板閥
參數 | 規(guī)格 |
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材質 | 全氟醚橡膠(FFKM) |
硬度 | 75±5 Shore A |
真空密封等級 | ≤1×10?? mbar·L/s |
耐溫范圍 | -20℃~+320℃(短期350℃) |
耐化學性 | 耐等離子體/臭氧/酸堿腐蝕 |
尺寸規(guī)格 | 適配DN63(2.5")閥門法蘭 |
復合式設計:
主密封唇:雙道FFKM密封邊緣
支撐骨架:不銹鋼316L內嵌環(huán)
抗擠壓設計:
截面優(yōu)化結構(承壓能力提升30%)
VAT閥門系列 | 具體型號 |
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59000 | 59063, 59080 |
47000 | 47150, 47200 |
39000 | 需確認法蘭尺寸匹配 |
表面處理:
法蘭密封面粗糙度Ra≤0.8μm
需用無絨布+異丙醇清潔
安裝扭矩:
法蘭類型 | 推薦扭矩 |
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ISO-KF63 | 15~18 Nm |
CF63 | 30~35 Nm |
氦質譜檢漏:
測試壓力:1×10?? mbar
允許泄漏率:≤1×10?? mbar·L/s
老化測試:
250℃烘烤72小時后壓縮變形≤20%
品牌/型號 | 差異點 |
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VAT 334347-M | 金屬包覆版本(耐450℃) |
Pfeiffer 033434 | Kalrez®材質,價格+40% |
國產FFKM-DN63 | 成本低60%,壽命約50%原廠 |
工況條件 | 預期更換周期 |
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常溫高真空(<10?? mbar) | 3~5年 |
等離子體環(huán)境 | 6~12個月 |
高溫(280℃) | 1~2年 |
該密封件需配合 VAT專用真空脂(P/N: 334500) 使用。對于半導體設備,建議每12個月預防性更換,并保留舊件進行失效分析。批量訂單(≥50件)可申請15%年度協議折扣。
瑞士VAT真空部件 334347
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